净化车间又称洁净室，它是污染控制的基础。没有净化车间，就不可能批量生产污染敏感零件。那么，净化车间又分为哪些部分呢？

净化车间由五部分组成：

1.隔间

净化车间隔室分为更衣室、千层区、百层区三部分。更衣室及千级区、千级区、百级区均设有空气淋浴，净化车间及室外均设有密码箱。人员进入净化车间时，必须先通过空气淋浴室对人体携带的粉尘进行喷淋，减少人员带入净化车间的粉尘。分动箱用于喷雾降尘，达到降尘的效果。

2.空气系统流程图

系统采用新风空调箱+FFU系统

<1> 新风空调箱结构

<2> FFU：（fanfilter unit）指风扇和过滤器

在1000级区域采用高效空气过滤器，过滤效率为99.997%。在100级过滤区采用ULPA，过滤效率为99.9995%。

3.水系统流程图

冰水系统分为一次侧和二次侧

一次侧冰水温度为7-12度，供给空调箱和风机盘管；二次侧冰水温度为12-17度，供给干盘管系统。一次侧冰水和二次侧冰水是两条不同的回路，通过板式换热器连接

板式换热器原理

干盘管：无冷凝盘管，由于净化车间温度为22℃，露点温度约为12℃，7℃的冰水不能直接进入净化车间，因此干盘管冰水温度为12-14℃

4.控制系统（DDC）温度：干盘管系统控制

湿度：空调箱通过感应信号控制三通阀的开度，调节空调箱盘管的进水量。

正压：空调箱调节，根据静压感应信号，自动调节空调箱电机变频器的频率，从而调节进入房间的新鲜空气。

5.其他系统

不仅是空调系统，还有真空、气压、氮气、纯水、废水、二氧化碳系统、工艺排气系统

①本试验的目的是测定单向流净化车间工作区的平均气流流量及其均匀性。

②系统或房间的风量检测。

③室内清洁度检测。洁净度的检测是确定洁净环境的空气洁净度水平，可用粒子计数器进行检测。

④自净时间检测。通过测定自净时间，找出了恢复洁净室原有清洁度的能力。

⑤气流模式检测。

⑥噪声检测。

⑦照明检测。照度检测的目的是确定洁净室的照度水平和均匀性。

⑧振动检测。振动检测的目的是确定净化车间的振幅。

⑨温湿度检测。温湿度检测的目的是将温湿度调节到一定限度。其内容包括净化车间送风温度检测、代表性测点气温检测、净化车间中心点气温检测、敏感元件空气度检测、室内空气相对温度检测、温度检测回风温度。

⑩总风量和新风量检测。